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产品分类
全自动减薄机GR-6110
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产品描述
产品参数
技术特点
●同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配全自动上下料系统，设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;
●GPP行业应用优势明显;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;
●节省空间的设计，占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比。
性能指标
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自动减薄机 |
GR-6110 |
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最大加工物尺寸 |
Φ156mm |
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主轴 |
主轴数量 |
1 |
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输出功率 |
7.5KW |
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转速 |
1000-6000rpm |
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Z轴 |
行程 |
120mm |
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进给速度 |
0.00001~0.08mm/s |
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最大返回速度 |
50mm/s |
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分辨率 |
0.1pm |
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承片台数量 |
4 (可定制) |
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工作台转速 |
0-20rpm |
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减薄精度 |
片内厚度偏差 |
<5μm |
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片间厚度偏差 |
<±5μm |
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表面粗糙度Ra |
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) |
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|
测量仪 |
测量范围 |
不适用 |
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分辨率 |
||
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重复精度 |
||
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其他规格 |
夕卜形尺寸(WxDxH) |
750mmx1350mmx1750mm |
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设备重量 |
≈2000 kg |
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全自动减薄机GR-1220
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