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产品分类

全自动减薄机GR-6110

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产品名称

全自动减薄机GR-6110

所属分类
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产品描述
产品参数

技术特点
●同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配全自动上下料系统,设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;
●GPP行业应用优势明显;
●高加工效率,4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;
●节省空间的设计,占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比。


性能指标

自动减薄机

GR-6110

最大加工物尺寸

Φ156mm

主轴

主轴数量

1

输出功率

7.5KW

转速

1000-6000rpm

Z轴

行程

120mm

进给速度

0.00001~0.08mm/s

最大返回速度

50mm/s

分辨率

0.1pm

承片台数量

4 (可定制)

工作台转速

0-20rpm

减薄精度

片内厚度偏差

<5μm

片间厚度偏差

<±5μm

表面粗糙度Ra

<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)

测量仪

测量范围

不适用

分辨率

重复精度

其他规格

夕卜形尺寸(WxDxH)

750mmx1350mmx1750mm

设备重量

≈2000 kg

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