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产品分类

激光划片机GR-410

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产品名称

激光划片机GR-410

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产品描述
产品参数

概述
  GR-410系列激光划片机,配置进口激光器,加工效率高,质量稳定, 设备简单易操作;提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式, 可升级提供六边形划切(三角形切割方式)。
全系列产品分为四款设备:
  GR-410和GR-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切,不支持 底部对准功能。
  GR-410D和GR-410DZ两款设备拥有独特的双光路系统,为单面光 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切, 支持底部对准功能。


性能指标

划切参数

划切对象

4寸至6寸GPP晶圆和硅晶圆

划切方式

等距矩形切割,支持三角形切割(手动对准)

激光参数

光纤激光器,最大功率20W

划切速度

W250mm/s

切割精度

±0.003mm

切割线宽

0.035-0.055mm

切割深度

<0.12mm

工作台参数

工作范围

220mm*200mm

工作台分辨率

0.0005mm

旋转电机行程

360° 185°

旋转电机定位精度

30”

Z向定位精度

0.01mm

Z向激光调焦行程

20mm

其他

自动对位范围

35mil-305mil

自动对位精度

0.01mm

外形尺寸 (WxDxH) mm

GR-410/GR-410D

760x1165x1650

GR-410Z/GR-410DZ

940x1165x1650

设备重重kg

GR-410/GR-410D

750

GR-410Z/GR-410DZ

800


产品特色
●底部对准
●背面打标
●自动上下料
●自动对位

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